文档详情

等离子体处理方法.pdf

发布：2023-06-20约2.04万字共17页下载文档

文本预览下载声明

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113380599 A (43)申请公布日 2021.09.10 (21)申请号 202110189883.5 (22)申请日 2021.02.18 (30)优先权数据 2020-0290

显示全部

相似文档

在等离子体室中对衬底进行等离子体处理的方法和等离子体处理系统.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114586129 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202080066867.0 (74)专利代理机构永新专利商标代理有限公司
2023-05-07 约1.73万字 17页立即下载
等离子体处理装置以及等离子体处理方法.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115004863 A (43)申请公布日 2022.09.02 (21)申请号 202080004065.7 (51)Int.Cl.
2022-10-19 约2.71万字 29页立即下载
等离子体处理装置、等离子体处理方法和存储介质.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113345788 A (43)申请公布日 2021.09.03 (21)申请号 202110571547.7 (51)Int.Cl.
2023-06-16 约4.49万字 48页立即下载
等离子体处理方法和等离子体处理装置.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113345787 A (43)申请公布日 2021.09.03 (21)申请号 202110202244.8 (22)申请日 2021.02.23 (30)优先权数据 2020-0350
2023-06-19 约1.97万字 21页立即下载
等离子体处理装置和等离子体处理方法.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112992643 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 202011451572.3 (22)申请日 2020.12.10 (30)优先权数据 2019-2276
2023-06-09 约1.91万字 19页立即下载
等离子体处理装置和等离子体处理方法.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114823266 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210030989.5 (22)申请日 2022.01.12 (30)优先权数据 2021-006604 202
2023-05-15 约2万字 18页立即下载
等离子体处理系统和等离子体处理方法.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114823264 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210021589.8 (22)申请日 2022.01.10 (30)优先权数据 2021-007413 202
2023-05-12 约2.56万字 27页立即下载
等离子体处理装置的异常探测方法和等离子体处理装置.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114823269 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210039073.6 (22)申请日 2022.01.13 (30)优先权数据 2021-008964 202
2023-05-12 约2.46万字 25页立即下载
等离子体产生装置及等离子体处理方法.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114586473 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 201980101498.1 (51)Int.Cl.
2023-05-07 约1.46万字 15页立即下载
等离子体处理装置和被处理体的处理方法.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113394082 A (43)申请公布日 2021.09.14 (21)申请号 202110653982.4 H01L 21/02 (2006.01) (22)申请日 2
2023-06-17 约2.94万字 25页立即下载
基板处理方法及等离子体处理装置.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112838002 A (43)申请公布日 2021.05.25 (21)申请号 202011285147.1 (22)申请日 2020.11.17 (30)优先权数据 2019-2124
2023-06-04 约1.8万字 18页立即下载
等离子体处理系统和边缘环的更换方法.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113345786 A (43)申请公布日 2021.09.03 (21)申请号 202110191972.3 (22)申请日 2021.02.20 (30)优先权数据 2020-0359
2023-06-16 约3.94万字 48页立即下载
一种集尘器、等离子体处理设备及调压方法.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114582694 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202011392147.1 H01L 21/67 (2006.01) (22)申请日 2020.12.
2023-05-08 约1万字 11页立即下载
配线异常的检测方法和等离子体处理装置.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114582696 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202111413523.5 (22)申请日 2021.11.25 (30)优先权数据 2020-200322 202
2023-05-10 约2.44万字 22页立即下载
一种等离子体处理装置及其调节方法.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114582691 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202011295090.3 (22)申请日 2020.11.18 (71)申请人中微半导体设备（上海）股份有限公
2023-05-07 约2.08万字 18页立即下载