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一种半导体器件结构及其制造方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113410214 B (45)授权公告日 2022.04.19 (21)申请号 202110588352.3 H01L 23/482 (2006.01)
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