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一种半导体器件及其制造方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114551241 A (43)申请公布日 2022.05.27 (21)申请号 202210108389.6 H01L 29/417 (2006.01)

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