半导体器件及其制造方法.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113380813 A
(43)申请公布日 2021.09.10
(21)申请号 202110101455.2
(22)申请日 2021.01.26
(30)优先权数据
16/887,74
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