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一种半导体器件的制造方法和半导体器件.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114883194 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202110169971.9 H01L 29/10 (2006.01) (22)申请日 2021.02.
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