一种半导体设备钛沉积腔自校准罩定向去膜清洗辅助治具.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213468854 U
(45)授权公告日 2021.06.18
(21)申请号 202021841400.2
(22)申请日 2020.08.28
(73)专利权人 富乐德科技发展(大连)有限公司
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