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一种半导体生产用辅助设备.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114455132 A (43)申请公布日 2022.05.10 (21)申请号 202111636921.3 (22)申请日 2021.12.28 (71)申请人安徽高芯众科半导体有限公司地址

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