一种半导体设备传送平台.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114823444 A
(43)申请公布日 2022.07.29
(21)申请号 202210242307.7
(22)申请日 2022.03.11
(71)申请人 中国电子科技集团公司第四十八研
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