一种用于半导体晶片制备的旋转平台.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213026085 U
(45)授权公告日 2021.04.20
(21)申请号 202020698263.5
(22)申请日 2020.04.30
(73)专利权人 江苏同臻智能科技有限公司
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