一种半导体炉管清洗机构.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213001578 U
(45)授权公告日 2021.04.20
(21)申请号 202020274685.X
(22)申请日 2020.03.09
(73)专利权人 无锡同茂电子科技有限公司
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