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半导体清洗设备.pdf

发布：2018-05-17约1.13万字共13页下载文档

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清洗机特点： ◆ 本设备为浸泡式清洗机，用于半导体行业扩散炉石英管清洗 ◆ 槽体材料为进口聚丙烯（PP ）塑料或 PVDF 材料，支架采用不锈钢，耐腐蚀性能好 ◆ 管件、泵、电磁阀均选用的是进口产品，性能稳定可靠 ◆ 触摸屏 PLC 控制，流量及温度，超纯净泵的压力、流量可设置 ◆ 选配气体喷枪 ◆ 可根据用户要求

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