文档详情

一种半导体炉管的清洗方法.pdf

发布:2023-06-05约1.33万字共14页下载文档
文本预览下载声明
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112827951 B (45)授权公告日 2022.01.25 (21)申请号 202011613504.2 B08B 13/00 (2006.01) (22)申请日
显示全部
相似文档