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一种制作半导体元件的方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114792702 A (43)申请公布日 2022.07.26 (21)申请号 202110095432.5 (22)申请日 2021.01.25 (71)申请人联华电子股份有限公司地址中国台

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