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一种应力硅及其制备方法与半导体元件.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114883188 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202210360983.4 (22)申请日 2022.04.07 (71)申请人三明学院地址 365000 福

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