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半导体元件及其制作方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112802901 A (43)申请公布日 2021.05.14 (21)申请号 202110191345.X (22)申请日 2018.01.18 (62)分案原申请数

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