一种半导体结构及其制作方法.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116096068 A
(43)申请公布日 2023.05.09
(21)申请号 202111269832.X
(22)申请日 2021.10.29
(71)申请人 长鑫存储技术有限公司
地址 23
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