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一种半导体结构及其制作方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116096068 A (43)申请公布日 2023.05.09 (21)申请号 202111269832.X (22)申请日 2021.10.29 (71)申请人 长鑫存储技术有限公司 地址 23
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