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一种半导体晶圆湿法清洗的治具.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212461631 U (45)授权公告日 2021.02.02 (21)申请号 202021458668.8 (22)申请日 2020.07.22 (73)专利权人苏州睿智源自动化科技有限公司

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