GB/T 30869-2014太阳能电池用硅片厚度及总厚度变化　测试方法.pdf

ICS77.040 H21 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT30869 2014 太太阳能电池用硅片厚度及总厚度变化 测试方法 Testmethodforthicknessandtotalthickness variationofsiliconwafersforsolarcell 2014-07-24发布 2015-02-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发 布 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 / — GBT30869 2014 前 言 本标准按照 / — 给出的规则起草。 GBT1.1 2009 ( / ) ( / 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会 SACTC203及材料分技术委员会 SACTC / )共同提出并归口。 203SC2 : 、 、 本标准起草单位 东方电气集团峨嵋半导体材料有限公司 有研半导体材料股份有限公司 乐山新 、 。 天源太阳能科技有限公司 青洋电子材料有限公司 : 、 、 、 、 、 、 。 本标准主要起草人 何紫军 冯地直 程宇 黎阳 陈琳 荆旭华 刘卓 Ⅰ / — GBT30869 2014 太阳能电池用硅片厚度及总厚度变化 测试方法 1 范围 ( ) 。 本标准规定了太阳能电池用硅片 以下简称硅片 厚度及总厚度变化的分立式和扫描式测量方法 / 、 / , 本标准适用于符合 GBT26071GBT29055规定尺寸的硅片的厚度及总厚度变化的测量 分立 , 。 式测量方法适用于接触式及非接触式测量 扫描式测量方法只适用于非接触式测量 在测量仪器准许 ,