GB/T 30857-2014蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法.pdf

ICS77.040 H21 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT30857 2014 蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法 Standardtestmethodforthicknessandthicknessvariationonsa hiresubstrates pp 2014-07-24发布 2015-04-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发 布 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 / — GBT30857 2014 前 言 本标准按照 / — 给出的规则起草。 GBT1.1 2009 ( / ) ( / 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会 SACTC203及材料分技术委员会 SACTC / )共同提出并归口。 203SC2 : 、 、 本标准主要起草单位 协鑫光电科技控股有限公司 中国科学院上海光机所 浙江昀丰新能源科技 有限公司。 : 、 、 、 、 。 本标准主要起草人 魏明德 黄朝晖 刘逸枫 杭寅 徐永亮 Ⅰ / — GBT30857 2014 蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法 1 范围 、 、 ( 本标准规定了制备氮化镓薄膜外延片及其他用途的蓝宝石单晶切割片 研磨片 抛光片 简称衬底 ) 。 片 厚度和厚度变化是否满足标准限度要求的测试方法 本标准适用于蓝宝石衬底片厚度及厚度变化的测试。 2 规范性引用文件 。 , 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 凡是注日期的引用文件 仅注日期的版本适用于本文 。 , ( ) 。 件 凡是不注日期的引用文件 其最新版本 包括所有的修改单 适用于本文件 / 半导体材料术语 GBT14264 3 术语和定义 / 界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 GBT14264 3.