GB/T 30867-2014碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试方法.pdf

ICS29.045 H 83 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT30867 2014 碳碳化硅单晶片厚度和总厚度 变化测试方法 Testmethodformeasurin thicknessandtotalthicknessvariationof g monocrstallinesiliconcarbidewafers y 2014-07-24发布 2015-02-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发 布 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 碳化硅单晶片厚度和总厚度 变化测试方法 / — GBT30867 2014 * 中 国标 准 出版 社 出版 发 行 北京市朝阳区和平里西街甲 号( ) 2 100029 北京市西城区三里河北街 号( ) 16 100045 网址: g 服务热线: 400-168-0010 010 年 月第一版 2014 9 * 书号: · 155066 1-49958 版权专有 侵权必究 / — GBT30867 2014 前 言 本标准按照 / — 给出的规则起草。 GBT1.1 2009 ( /