MEMS射频薄膜体声波谐振器(FBAR)研究的开题报告.pdf

MEMS射频薄膜体声波谐振器(FBAR)研究的开题报

告

一、研究背景

随着电子通信技术的快速发展，射频无线电技术在现代通信中越

越广泛应用。作为射频无线电技术中的核心元器件之一，射频滤波器在

无线电中的作用尤为重要。MEMS领域的射频滤波器以其高性能、制作工

艺简单低成本等特点，受到广泛关注和研究。射频薄膜体声波谐振器

(FBAR)技术是MEMS领域中一种新兴的射频滤波器技术，具有体积小、

Q值高、频带宽、温度稳定等优点，可以应用在GSM、CDMA、WCDMA

等射频通信设备中。

目前，FBAR技术仍然面临着一些挑战，如提高Q值、增大带宽、优

化耦合系数等问题，需要着重进行探讨和研究。因此，本研究计划从

FBAR的基础原理、制备工艺、性能评估等方面进行探究，以提高FBAR

的性能，推动其在射频滤波器领域的应用。

二、研究内容

1.FBAR的基础原理和结构设计：介绍FBAR的基础原理和结构设计，

包括表面声波传播原理、FBAR结构和谐振频率等。

2.FBAR的制备工艺：介绍FBAR的制备工艺，包括表面微加工技术、

沉积技术、预处理技术等。探究各种工艺参数对FBAR性能的影响，选择

最优参数进行制备。

3.FBAR的性能评估：对制备好的FBAR进行性能评估，包括谐振频

率、带宽、增益、Q值等指标的测试。通过对比不同工艺条件下FBAR的

性能，优化FBAR的制备工艺，提高FBAR的性能。

4.FBAR在射频滤波器中的应用：探讨FBAR在射频通信中的应用，

如GSM、CDMA、WCDMA等无线电通信系统中射频滤波器的实现。设计

并测试基于FBAR的射频滤波器，验证其性能和稳定性。

三、研究意义

1.探讨FBAR的基础原理和制备工艺，推动FBAR技术在射频通信

领域的应用。

2.优化FBAR的工艺条件，提高其性能，为射频通信系统提供更加

稳定高效的滤波器。

3.设计基于FBAR的射频滤波器，验证其在通信系统中的实际应用

效果，为射频滤波器技术的发展做出贡献。