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具有环形电极的薄膜体声波谐振器.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113364422 A (43)申请公布日 2021.09.07 (21)申请号 202110681638.6 (22)申请日 2021.06.18 (71)申请人深圳市封神微电子有限公司

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