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一种单晶薄膜体声波谐振器的制备方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112803910 A (43)申请公布日 2021.05.14 (21)申请号 202011593427.9 (22)申请日 2020.12.29 (71)申请人杭州电子科技大学地址

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