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一种采用金属键合工艺制备薄膜体声波谐振器的方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112929003 A (43)申请公布日 2021.06.08 (21)申请号 202110096553.1 (22)申请日 2021.01.25 (71)申请人杭州电子科技大学地址

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