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一种带有蚀刻停止层的横向激励的薄膜体声波谐振器.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113346863 A (43)申请公布日 2021.09.03 (21)申请号 202110065229.3 (22)申请日 2021.01.18 (30)优先权数据 62/978,13

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