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应用于FBAR的高质量单晶压电薄膜及谐振器结构制备方法.pdf

发布：2023-05-14约6.98千字共8页下载文档

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114883479 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202210496483.3 H01L 41/053 (2006.01)

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