高频压电陶瓷谐振器的制备与性能.pdf

第 1期 电 子 元 件 与 材 料 、，01．22No．1 2003年 1月 ELECTRON1CCOMPONENTS＆ MATERIALS Jan．2003 高频压 电陶瓷谐振器的制备与性能 肖洪地，王成建，马洪磊 (山东大学物理与微电子学院，山东 济南，250100) 摘要：主要研究PbTiO3基陶瓷谐振器的制备工艺和主要性能。PbTiO3基陶瓷采用传统工艺来制备。这种陶瓷具有 高 和Q ，低 和高频率稳定性，用此种陶瓷制备的高频谐振器具有优良性能，并完全满足使用的需要。 关键词：钛酸铅基压电陶瓷；压 电陶瓷谐振器；制备工艺；频率稳定性 中图分类号：TN751．2 文献标识码：A 文章编号：1001-2028(2003)01—0033-03 ThePreparationandPerformanceofHighFrequencyPiezoelectric CeramicResonators XIAOHong-di，WANGCHENG-jian，MAHong-lei (SchoolofPhysicsandMicroelectronics，ShnadongUniversity,Jinna 250100,China) Abstract：ThepreparingtechnologyandthemainperformanceofPbTiO3basedceramicresonatorshavebeenstudied． PbTiO3basedceramicsarepreparedbyconventionalceramicprocessanditexhibitshigh nadQm，low nadhighfrequency stability．Th ehighfrequencyresonatorsprepraedwiht PbTiO3basedpiezoelcetricceramicsexhibithighperformancestability, nadhteycompletelysatisfyappliedrequirement． Key words：PbTiO3based piezoelcetric ceramics；piezoelectricceramicsresonators；prepraation process；frequency stability 高频压电陶瓷谐振器以其小型、轻量、能耗低和 制成的PbTiO3基陶 引。PbTiO3粉末和Pb(Sn1r3Nbzr3) 无需调整等优点，被广泛用于电视机、计算机、录像 O3粉末都是在 1000~C下烧结3h合成的。所用原料 机、自动化电子装置、通信设备、复印机等电子设备 Pb304，TiO2，SnO2，MnO2和Nb2O5是化学纯或分析 中；随着微机化和数字化的不断发展，压电陶瓷谐振 纯粉末。 器作为基准信号发生源，它的重要性也 日益增加，今 在 PbTiO3粉末中添加分析纯 Nd2O3和化学纯 后将进一步向高频领域和片式化方向发展。 MnO2杂质元素，其化学分子式为： 高频压电陶瓷谐振器对基片材料即振子材料有严 PbTiO3+l％ Nd203+0．2％ MnO2 格的要求，主要是要求压电陶瓷具有高的机械品质因 数 (Q )和厚度伸缩机电耦合系数 (‰)，低的相对介 成型后的陶瓷体用通氧法烧结，烧结温度 123oC，保 电常数 (Er)和高的频率稳定性。用传统的PZT陶瓷