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集成电路制造技术——原理与工艺（第3版）课件第5章离子注入.pptx ;第五章;5.1;一、概述;二、离子注入原理;注入离子的分布;入射离子与原子核的碰撞，即核阻挡的能量损失过程；;能量为E的一个注入离子与靶原子核碰撞，离子能量转移到靶原子核上，结果使离子改变运动方向，而靶原子核可能离开原位，成为间隙原子，或只是能量增加。核阻止本领（Sn）：能量为E的注入离子在单位密度靶内运动单位长度时，损失给靶原子核的能量。;碰撞参数p ≤r1+r2;2.2 离子注入相关理论基础;;二、离子注入原理;一、概述;;;注入离子在靶中的理论分布;注入离子在靶中的理论分布;注入离子在靶中的理论分布;;注入离子在靶中的理论分布;注入离子在靶中的分布---其他影响因素;;;4;一、

2023-07-11 约小于1千字 54页立即下载

集成电路制造技术——原理与工艺（第3版）课件第11章工艺集成.pptx 集成电路制造技术集成电路制造技术JI CHENG DIAN LU ZHI ZAO JI SHU ——原理与工艺第十一章工艺集成金属化与多层互连金属化与多层互连JI CHENG DIAN LU ZHI ZAO JI SHU 金属化与多层互连金属及金属性材料在芯片上的应用被称为金属化，形成的整个金属及金属性材料结构称金属化系统。金属化材料可分为三类：1互连材料指将同一芯片内的各个独立的元器件连接成为具有一定功能的电路模块；23接触材料是指直接与半导体材料接触的材料以及提供与外部相连的连接点；MOSFET栅电极材料是作为MOSFET器件的一个组成部分，对器件的性能起着重要作用。集成电路对互连布线

2023-06-12 约5.59千字 62页立即下载

集成电路制造技术——原理与工艺（第3版）课件第10章刻蚀技术.pptx 集成电路制造技术集成电路制造技术JI CHENG DIAN LU ZHI ZAO JI SHU ——原理与工艺刻蚀技术刻蚀技术集成电路制造技术JI CHENG DIAN LU ZHI ZAO JI SHU 概述刻蚀技术(etching technique)是在半导体工艺，按照掩模图形或设计要求对半导体衬底表面或表面覆盖薄膜进行选择性腐蚀或剥离的技术。刻蚀技术包含了所有将材质表面均匀移除或是有选择性地部分去除的技术，可大体分为湿法刻蚀（Wet Etching）干法刻蚀（Dry Etching）保真度（Profile）选择比（Selectivity）均匀性（Uniformity

2023-06-12 约4.49千字 42页立即下载

集成电路制造技术——原理与工艺（第3版）课件第11章工艺集成.pptx ;;金属及金属性材料在芯片上的应用被称为金属化，形成的整个金属及金属性材料结构称金属化系统。金属化材料可分为三类：;集成电路对互连布线有以下要求：布线材料有低的电阻率和良好的稳定性；布线应具有强的抗电迁移能力；布线材料易于淀积成膜，粘附性要好，台阶覆盖要好，并有良好的可焊性。布线材料可被精细刻蚀，并具有抗环境侵蚀的能力；;铝的应用;1. 电迁移现象;电迁移效应解决方法（一）;电迁移效应解决方法（续）采用适当工艺淀积Al膜 EB蒸镀的Al的晶粒的优选晶向为（111），比溅射Al薄膜MTF大2-3倍。； Al-Cu(Al-Si-Cu)合金；加入1-2％ Si和4％Cu，这些杂质在铝的晶粒间

2023-07-10 约小于1千字 63页立即下载

2023-06-15 约小于1千字 11页立即下载

集成电路制造技术——原理与工艺（第3版）课件 11.2 工艺集成--隔离技术.pptx 请先安装字体特殊字体双击安装安装后重启PPT主讲集成电路制造技术集成电路制造技术/田丽王蔚JI CHENG DIAN LU ZHI ZAO JI SHU ——原理与工艺第十一章工艺集成隔离工艺隔离工艺JI CHENG DIAN LU ZHI ZAO JI SHU 集成电路中的隔离IC是将多个元件如晶体管、电阻、电容等，集成在一个芯片上，各个元件间必须进行电隔离。电隔离工艺是由多个单项工艺组的工艺模块。当前常用的隔离工艺有四种：绝缘介质隔离PN结隔离沟槽隔离场区隔离集成电路中的隔离pn结隔离特点、用途用途：双极型集成电路多采用pn结隔离，各元件作在隔离岛上，由隔离墙形成的pn结隔离；一些其

2023-06-12 约1.45千字 15页立即下载

集成电路制造技术——原理与工艺（第3版）课件 10.1 刻蚀技术-1概述.pptx 特殊字体双击安装安装后重启PPT请先安装字体集成电路制造技术集成电路制造技术JI CHENG DIAN LU ZHI ZAO JI SHU ——原理与工艺主讲/田丽王蔚刻蚀技术刻蚀技术集成电路制造技术JI CHENG DIAN LU ZHI ZAO JI SHU 概述刻蚀技术(etching technique)是在半导体工艺，按照掩模图形或设计要求对半导体衬底表面或表面覆盖薄膜进行选择性腐蚀或剥离的技术。刻蚀技术包含了所有将材质表面均匀移除或是有选择性地部分去除的技术，可大体分为湿法刻蚀（Wet Etching）干法刻蚀（Dry Etching）保真度（Profile）选

2023-06-12 约小于1千字 9页立即下载

集成电路制造技术——原理与工艺（第3版）课件第4章扩散.pptx 集成电路制造技术集成电路制造技术JI CHENG DIAN LU ZHI ZAO JI SHU ——原理与工艺扩散第四章扩散JI CHENG DIAN LU ZHI ZAO JI SHU 4.1 扩散机构4.2 晶体中扩散的基本特点与宏观动力学方程4.3 杂质的扩散掺杂4.4 热扩散工艺中影响杂质分布的其它因素4.5 扩散工艺条件与方法4.6 扩散工艺质量与检测4.7 扩散工艺的发展目录CONTENTS 一、扩散机构杂质在半导体中的扩散是由杂质浓度梯度或温度梯度（物体中两相的化学势不相等）引起的一种使杂质浓度趋于均匀的杂质定向运动。晶体内的扩散是通过微观粒子-原子的一系列

2023-06-12 约6.79千字 51页立即下载

2023-06-14 约2.05千字 26页立即下载

集成电路制造技术——原理与工艺（第3版）课件 9.5 光刻-其它曝光技术.pptx 特殊字体双击安装安装后重启PPT请先安装字体集成电路制造技术集成电路制造技术JI CHENG DIAN LU ZHI ZAO JI SHU ——原理与工艺主讲/某某某其它曝光技术第九章光刻技术其它曝光技术JI CHENG DIAN LU ZHI ZAO JI SHU 其它曝光技术电子束光刻 X-射线光刻离子束光刻新技术展望其它曝光技术 1电子束光刻电子束曝光是用低功率密度的电子束直接描画或投影照射电致抗蚀剂，经显影后在抗蚀剂中产生图形的一种微细加工技术。它的特点是分辨率高、图形产生与修改容易、制作周期短。电子束光刻已应用于制造高精度掩模版、移相掩膜版和x射线掩模版

2023-06-16 约1.22千字 13页立即下载

集成电路制造技术——原理与工艺（第3版）课件 10.3 刻蚀技术-干法刻蚀.pptx 特殊字体双击安装安装后重启PPT请先安装字体集成电路制造技术集成电路制造技术JI CHENG DIAN LU ZHI ZAO JI SHU ——原理与工艺主讲/田丽王蔚干法刻蚀技术第十章刻蚀技术干法刻蚀技术JI CHENG DIAN LU ZHI ZAO JI SHU 干法刻蚀技术干法刻蚀是应用等离子技术的腐蚀方法，刻蚀气体在反应器中等离子化，与被刻蚀材料反应（或溅射），生成物是气态物质，从反应器中排出。干法刻蚀是ULSI的标准腐蚀工艺。无钻蚀现象各向异性腐蚀能力强能够进行自动化操作。清洁性好，气态生成物被排出。优点干法刻蚀特点保真度好，图形分辨率高；湿法腐蚀难的薄膜如氮化硅等

2023-06-12 约1.3千字 13页立即下载

检测鉴定公司电气检测服务合同模板.docx 检测鉴定公司电气检测服务合同模板甲方（委托方）：公司名称：____________________ 统一社会信用代码：__________ 注册地址：____________________ 法定代表人：________________ 联系方式：____________________ 乙方（服务方-检测鉴定公司）：公司名称：____________________ 统一社会信用代码：__________ 注册地址：____________________ 法定代表人：________________ 联系方式：____________________ 检测资质证书编号：_____

2025-07-10 约3.11千字 9页立即下载

备件管理要点.docx 黑龙江建龙钢铁有限公司备件管理要点主办单位：设备处制度编号：140W901602制度页数：共17页编制：备件工程师（崔显和）审核：周海川批准：李伟发布日期：2008年8月14日生效日期：2008年8月14日一、总则1、目的为了规范设备备件管理工作，提高设备对于生产的保障能力，科学、经济的储备设备备件，特制定本要点。 2、术语备件：在企业维修工作中，为了缩短修理停歇时间，按照储备原则事先准备的各种零部件，统称为备件；冶金企业备件按用途特性分为：设备备件、生产备件、冶金专用工具。设备备件：为及时更换设备上由于运行中自然磨损和材料疲劳的影响造成损坏或老化的零部件，从而达到恢

2024-06-30 约9.2千字 18页立即下载

备件管理要点.pdf 一、总则 1、目的为了规范设备备件管理工作，提高设备对于生产的保障能力，科学、经济的储备设备备件，特制定本要点。 2、术语（1）备件：在企业维修工作中，为了缩短修理停歇时间，按照储备原则事先准备的各种零部件，统称为备件；冶金企业备件按用途特性分为：设备备件、生产备件、冶金专用工具。（2）设备备件：为及时更换设备上由于运行中自然磨损和材料疲劳的影响造成损坏或老化的零部件，从而达到恢复设备精度和技术性能、保障生产连续进行的目的而经常储备的一定种类和数量的零部件称为设备备件。如齿轮、轴、铜套、轴承等。（3）生产备件：指虽属设备的组成部分，但直接

2022-07-20 约1.9万字 18页立即下载

备件管理教材要点.ppt * 4、机旁备件存放的场地一般较分散，可按作业现场情况及上述不同性质定专业区存放。有些大的修复件或专订事故件应直接存放机旁，但以不影响生产作业道路的畅通和厂容厂貌的整洁的原则。部分长期不用者应入总库（即不属于机旁备件）。对常用的一些零星件（如密封、软管、接头、三通等）及精密仪表、电气件应制作专用的货架或箱柜存放。 * 5、机旁备件均要建立帐、物、卡管理，卡上必须填写五项要素：物料代码，名称，型规，库位号，结存数，其内容全部输入PSCS机旁备件系统。帐、物、卡建立的方法以点检管理辖区的单位比较合适。领用时或要出库应在PSCS机旁备件领料画面，一般由点检人员输入签字即可。检修值班人员如

2016-04-09 约1.93万字 91页立即下载

混合机托轮备件管理及检修要点.docx 混合机托轮备件管理及检修要点一、混合机托轮备件管理 1.1混合机托轮定位尺寸 TTFtxnx TTFt xnx 1.1.1、备件上线前测量L1、L2、L3，以及轴承座前后螺栓孔中心距，拆除后测量基础框架螺栓孔距，依据备件尺寸提前修基础框架螺栓孔。 1.1.2、测量轴承座端面距离托轮端面距离L4、L5,单侧四个方向距离误差2mm以内，确保轴承座平行与托轮端面。注意：误差过大会造成迷宫密封卡阻磨损（迷宫密封标准间隙5mm），轴承滚珠与滚道端面接触造成轴承短寿命（23176轴承轴向游隙1.25mm左右）。 1.2混合机托轮方向确定托轮安装有方向要求，要求固定端在混合机出料端方向，

2023-11-19 约1.47千字 4页立即下载

装备管理培训教案(张部长)备件管理要点分析.ppt 4、在备品配件采购活动中，利用职务上的便利，弄虚作假，以次充好，收受回扣和贿赂的。 5、在备品配件采购活动中，玩忽职守，未进行严格的比质比价，购进质次价高商品，造成经济损失的。 6、工作严重不负责任，购进假冒伪劣商品的。 7、发现购进的商品质量不合格或者不符合合同规定的标准，不采取措施，以致延误索赔期，造成经济损失的。 8、在备品配件采购活动中，由于工作不负责任，管理不严，造成备品配件被盗、丢失、损坏，影响生产和施工，造成重大损失的。 9、利用职权和职务上的影响为配偶、子女及其他亲属向备品配件采购部门推销或暗示采购其商品，提供便利和优惠条件的。 10、备

2017-06-06 约5.45千字 66页立即下载

生产制造装备维护备件管理功能模块要点解读.pptx 中国铝业公司业务系统备件管理功能模块;1 安全环保以公司现有安全环保体系为准，此模块仅作参考;;备件管理模块简介;; 能力建设模块;备件管理的一整套方法建立，主要包含四个部分的内容;; 能力建设模块;备件管理的四个部分内容包含10种主要工具;;;… 根据RPN值确定该设备需要备哪些备件;… 根据RPN值确定该设备需要备哪些备件;… 根据RPN值确定该设备需要备哪些备件;;… 根据RPN值确定该设备需要备哪些备件;维护维修成本;备件全成本分析的实施步骤、选取原则和数据采集要求;;… 对于该备件历史使用数据，结合TCO全成本分析，确定应该使用哪种类型;备件管理的四个部分内容包含10种主要工具

2016-11-22 约字 54页立即下载

设备部----备件管理(库管)-------刘全福要点.doc 设备部备件管理（库管）检查标准目的实施“把隐患当事故处理”对生产过程中使用的机械、电气等设施，可能存在的隐患、有害危险因素、缺陷等进行检查，查找物的不安全因素和人的不安全行为，以确定隐患或有害危险因素或缺陷存在状态，以及它们转化为事故的条件，制定整改措施，消除或控制隐患和有害危险因素，确保生产安全，使在用设施符合安全生产要求。制定标准要求按照排查隐患体系要求，认真排查隐患，不放过任何可疑点，危险点。对查出问题及时通知有关单位进行处理，暂时无法处理的采取有效的预防措施，并立即向设备部或公司领导报告。专业管理人员隐患排查标准制定参考《部门安全生产职责》、《岗位作业标准》、《产线工艺

2017-01-23 约5.01千字 11页立即下载

机泵备件的选购和储存管理要点.docx 机泵备件的选购和储存管理要点随着工业发展的不断推进，机泵在生产和生活中的运用越来越广泛。然而，机泵在长期的使用过程中不可避免地会出现故障，因此备件的选购和储存管理显得尤为重要。本文将就机泵备件的选购和储存管理要点进行探讨。一、备件的选购要点 1.了解设备型号和规格：在选购备件前，首先要了解所需备件的设备型号和规格。不同型号和规格的机泵备件尺寸和性能可能存在差异，必须选用与原有设备相匹配的备件，以确保适用性和工作效果。 2.选择正规渠道和品牌：机泵备件应选择正规渠道购买，如授权经销商或官方网站。同时，购买备件时应选择可靠的品牌产品，以确保备件的质量和性能。 3.考虑供应和售后服务：在选择备件

2023-11-01 约1.01千字 2页立即下载