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新解读《GB_T 25915.12 - 2021洁净室及相关受控环境 第12部分：监测空气中纳米粒子浓度的技术要求》最新解读.pptx

发布：2025-05-26约6.75千字共22页下载文档
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《GB/T25915.12-2021洁净室及相关受控环境第12

部分：监测空气中纳米粒子浓度的技术要求》最新解读

一、纳米粒子监测：洁净室环境保障的新焦点

（一）纳米粒子对洁净室环境的潜在影响

1.产品质量威胁：在微电子、制药等行业，纳米粒子可能会吸附在产品表面，影响芯片的电路性能，或者污染药品，改变药品的成分和疗效。例如，在芯片制造过程中，纳米级的尘埃粒子可能导致芯片短路，使产品报废率大幅上升。

2.工艺稳定性干扰：纳米粒子的存在可能干扰某些精密工艺的进行。在高端光学镜片的制造中，纳米粒子可能会在镀膜过程中混入薄膜，影响薄膜的均匀性和光学性能，导致镜片的成

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