（高清版）B-T 25915.8-2021 洁净室及相关受控环境 第8部分：按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级.pdf

ICS13.040.35

CCSC70

中华人民共和国国家标准

GB/T25915.8—2021/ISO14644-8:2013

代替GB/T25915.8—2010

洁净室及相关受控环境

第8部分：按化学物浓度划分空气洁净度

(ACC)等级

Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—

Part8:Classificationofaircleanlinessbychemicalconcentration(ACC)

(ISO14644-8:2013,IDT)

2021-08-20发布2022-03-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T25915.8—2021/ISO14644-8:2013

目次

前言I

引言Ⅲ

1范围1

2规范性引用文件1

3术语和定义1

4分级3

5合格性的证明5

附录A(资料性)影响ACC的因素6

附录B(资料性)常见污染物9

附录C(资料性)常用测量方法12

附录D(资料性)隔离装置的特殊要求15

参考文献16

GB/T25915.8—2021/ISO14644-8:2013

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

GB/T25915GB/T25915

本文件是《洁净室及相关受控环境》的第8部分。已经发布了以下部分：

——第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级；

——第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测；

第3部分：检测方法：

——第4部分：设计、建造、启动；

——第5部分：运行；

——第6部分：词汇；

——第7部分：隔离装置(洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境);

——第8部分：按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级；

——第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级；

——第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级；

——第12部分：监测空气中纳米粒子浓度的技术要求。

本文件代替GB/T25915.8—2010《洁净室及相关受控环境第8部分：空气分子污染分级》,与

GB/T25915.8—2010相比，主要技术变化如下：

a)增加了“按化学物浓度划分空气洁净度”“按化学物浓度划分表面洁净度”和“按化学物浓度划

分空气洁净度(ACC)等级”的术语和定义(见3.1.2、3.1.4、3.1.8);

b)修改了术语“分子污染”为“化学污染物”、“空气分子污染”为“空气化学污染”和“表面分子污

染”为“表面化学污染物”(见3.1.1、3.1.3、3.1.5,2010年版的3.1.1、3.1.2、3.1.3);

c)