（高清版）B-T 25915.10-2021 洁净室及相关受控环境 第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级.pdf
ICS13.040.35
CCSC70
中华人民共和国国家标准
GB/T25915.10—2021/ISO14644-10:2013
洁净室及相关受控环境第10部分：
按化学物浓度划分表面洁净度等级
Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—
Part10:Classificationofsurfacecleanlinessbychemicalconcentration
(ISO14644-10:2013,IDT)
2021-08-20发布2022-03-01实施
国家市场监督管理总局
发布
国家标准化管理委员会
GB/T25915.10—2021/ISO14644-10:2013
目次
前言Ⅲ
引言IV
1范围1
2规范性引用文件1
3术语和定义1
4分级2
5化学污染的表面洁净度检测/测量、监测及符合性证明4
附录A(资料性)表面化学物各种浓度的换算6
附录B(资料性)影响测试与结果的因素12
附录C(资料性)洁净度评定的基本要素13
附录D(资料性)按化学物浓度测试表面洁净度的方法14
附录E(资料性)测试报告23
参考文献24
I
GB/T25915.10—2021/ISO14644-10:2013
前言
本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
本文件是GB/T25915《洁净室及相关受控环境》的第10部分。GB/T25915已经发布了以下
部分：
———第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级；
——第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测；
——第3部分：检测方法；
——第4部分：设计、建造、启动；
——-第5部分：运行：
——第6部分：词汇
——第7部分：隔离装置(洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境);
——第8部分：按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级；
———第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级；
——第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级；
———第12部分：监测空气中纳米粒子浓度的技术要求。
本文件等同采用ISO14644-10:2013《洁净室及相关受控环境第10部分：按化学物浓度划分表面
洁净度等级》。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC319)提出并归口。
本文件起草单位：中国工程物理研究院激光聚变研究中心、深圳市吉隆洁净技术有限公司、苏州市
计量测试院、中国电子系统工程第二建设有限公司、苏州