GB/T 25915.9-2018洁净室及相关受控环境 第9部分:按粒子浓度划分表面洁净度等级.pdf
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ICS13.040.35
C70
中华人 民共和 国国家标准
/ — / :
GBT25915.9 2018ISO14644-92012
洁净室及相关受控环境
:
第 部分 按粒子浓度划分表面洁净度等级
9
—
Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments
:
Part9Classificationofsurfacecleanlinessb articleconcentration
yp
( : , )
ISO14644-92012IDT
2018-06-07发布 2018-10-01实施
国家市场监督管理总局
发 布
中国国家标准化管理委员会
/ — / :
GBT25915.9 2018ISO14644-92012
目 次
前言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅲ
引言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅳ
1 范围 ……………………………………………………………………………………………………… 1
2 规范性引用文件 ………………………………………………………………………………………… 1
3 术语和定义 ……………………………………………………………………………………………… 1
4 缩略语 …………………………………………………………………………………………………… 2
5 分级体系 ………………………………………………………………………………………………… 2
6 符合性的证实 …………………………………………………………………………………………… 5
( ) …………………………………………………………………………
附录 资料性附录 表面特性
A 7
( ) ……………………………………………………………
附录 资料性附录 特定粒径范围描述符
B 10
( ) …………………………………………………………
附录 资料性附录 影响 分级的参数
C SCP 12
( ) ………………………………………
附录 资料性附录 按
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