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(高清版)B-T 25915.1-2021 洁净室及相关受控环境 第1部分:按粒子浓度划分空气洁净度等级.pdf

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ICS13.040.35

CCSC70

中华人民共和国国家标准

GB/T25915.1—2021

代替GB/T25915.1—2010

洁净室及相关受控环境第1部分:

按粒子浓度划分空气洁净度等级

Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—Part1:Classificationofair

cleanlinessbyparticleconcentration

(ISO14644-1:2015,MOD)

2021-08-20发布2022-03-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T25915.1—2021

目次

前言Ⅲ

引言V

1范围1

2规范性引用文件1

3术语和定义1

4分级4

5符合性的证明5

附录A(规范性)按粒子浓度划分空气洁净度的基准方法7

附录B(资料性)等级划分计算实例11

附录C(资料性)悬浮大粒子的计数和测径17

附录D(资料性)序贯采样法21

附录E(资料性)非整数洁净度等级和粒径阈值的说明27

附录F(资料性)检测仪器29

参考文献30

I

GB/T25915.1—2021

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规

定起草。

GB/T25915GB/T25915

本文件是《洁净室及相关受控环境》的第1部分。已经发布了以下部分:

———第1部分:按粒子浓度划分空气洁净度等级;

——第2部分:洁净室空气粒子浓度的监测;

———第3部分:检测方法

——第4部分:设计、建造、启动;

——第5部分:运行;

——第6部分:词汇;

———第7部分:隔离装置(洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境);

———第8部分:按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级;

——第9部分:按粒子浓度划分表面洁净度等级;

——第10部分:按化学物浓度划分表面洁净度等级;

———第12部分:监测空气中纳米粒子浓度的技术要求。

本文件代替GB/T25915.1—2010《洁净室及相关受控环境第1部分:空气洁净度等级》,与

GB/T25915.1—2010相

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