GB/T 36306-2024洁净室及相关受控环境　空气化学污染控制技术要求.pdf

ICS13.040.35

CCSC70

中华人民共和国国家标准

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GBT363062024

代替/—

GBT363062018

洁净室及相关受控环境

空气化学污染控制技术要求

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Cleanroomandassociatedcontrolledenvironments

Technicalreuirementsofairchemicalcontaminationcontrol

q

2024-03-15发布2024-10-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

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GBT363062024

目次

前言…………………………Ⅲ

引言…………………………Ⅳ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4污染源……………………1

5空气化学污染控制………………………2

6检测与监测………………3

()…………………

附录资料性洁净室建设材料选用

A5

()……………

附录资料性电子工业洁净室空气化学污染控制系统

B7

()……

附录资料性微电子工业洁净室空气化学污染物控制数据表

C9

()………………

附录资料性