GB/T 36306-2018洁净室及相关受控环境　空气化学污染控制指南.pdf

ICS13.040.35 C70 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT36306 2018 洁净室及相关受控环境 空气化学污染控制指南 — Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments Guidelinesforairbornechemicalcontaminationcontrol 2018-06-07发布 2018-10-01实施 国家市场监督管理总局 发 布 中国国家标准化管理委员会 / — GBT36306 2018 目 次 前言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅰ 引言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅱ 1 范围 ……………………………………………………………………………………………………… 1 2 规范性引用文件 ………………………………………………………………………………………… 1 T M F T 3 术语和定义 ……………………………………………………………………………………………… 1 Y : 、 ……………………………………………………………………………………… 4 污染源 分级与分类 2 位 单 5 检测 ……………………………………………………………………………………………………… 2 买 购 6 空气化学污染控制 ……………………………………………………………………………………… 2 3 ( ) ……………………… 附录 资料性附录 微电子和光电子领域对空气化学污染物的分级与分类 7 A 3 2 3 - ( ) ………………………………………… 附录 资料性附录 气相污染物监测与相关分析测定仪器 B 4 9