磁控溅射CeO2CuO复合薄膜在三乙胺气体传感器中的应用研究.docx

磁控溅射CeO2CuO复合薄膜在三乙胺气体传感器中的应用研究

目录

内容概览．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

1.1.1三乙胺气体检测的重要性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.1.2气体传感器技术发展趋势．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

1.2国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

1.2.1三乙胺气体传感器研究进展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

1.2.2氧化铈基复合薄膜材料研究进展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

1.2.3磁控溅射技术制备薄膜研究进展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

1.3研究内容与目标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

1.3.1主要研究内容．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

1.3.2具体研究目标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

1.4研究方法与技术路线．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

1.4.1研究方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

1.4.2技术路线．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

实验部分．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18

2.1实验材料与设备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19

2.1.1实验材料．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20

2.1.2实验设备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20

2.2样品制备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22

2.2.1磁控溅射参数优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

2.2.2CeO2CuO复合薄膜制备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24

2.2.3样品表征．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27

2.3性能测试．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28

2.3.1结构与形貌分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28

2.3.2电学性能测试．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30

2.3.3气体传感性能测试．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31

结果与讨论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32

3.1CeO2-CuO复合薄膜的结构与形貌分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34

3.1.1物相结构分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35

3.1.2微观形貌分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36

3.1.3薄膜厚度控制．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37

3.2CeO2-CuO复合薄膜的电学性能．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38

3.2.1电阻率测量．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39

3.2.2介电性能分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42

3.3CeO2-CuO复合薄膜对三乙胺的传感性能．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43

3.3.1气体传感机理探讨．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．44

3.3.2感应特性研究．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．