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栅极结构上具有碳衬垫的半导体元件及其制备方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114792687 A (43)申请公布日 2022.07.26 (21)申请号 202111282635.1 (22)申请日 2021.11.01 (30)优先权数据 17/158,564 2021
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