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半导体器件的栅极结构及其形成方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114566501 A (43)申请公布日 2022.05.31 (21)申请号 202110662770.2 (22)申请日 2021.06.15 (30)优先权数据 63/140,283 2021

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