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半导体器件、半导体单元结构及其形成方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114883297 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202210378192.4 (22)申请日 2022.04.12 (30)优先权数据 17/230,856 2021
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