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集成芯片及形成晶体管装置的方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112993037 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 202011439824.0 H01L 21/336 (2006.01) (22)申请日

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