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集成芯片、晶体管器件及其形成方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114464616 A (43)申请公布日 2022.05.10 (21)申请号 202110408773.3 (22)申请日 2021.04.16 (30)优先权数据 17/144,671 2021

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