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集成芯片及其形成方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113341501 A (43)申请公布日 2021.09.03 (21)申请号 202010830200.5 (22)申请日 2020.08.18 (30)优先权数据 16/806,04

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