集成芯片及其形成方法.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113009623 A
(43)申请公布日 2021.06.22
(21)申请号 202011472785.4 G02B 6/122 (2006.01)
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