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集成芯片及其形成方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114823679 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202110918219.X H01L 27/11514 (2017.01) (22)申请日 2021.

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