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具有光栅结构的红外半导体芯片及其制备方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113380908 B (45)授权公告日 2022.06.17 (21)申请号 202110435424.0 H01L 31/18 (2006.01) (22)申请日 2021.04

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