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碳化硅粉料合成坩埚.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218600265 U (45)授权公告日 2023.03.10 (21)申请号 202223001980.6 (22)申请日 2022.11.10 (73)专利权人 湖南三安半导体有
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