碳化硅粉料合成坩埚.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 218600265 U
(45)授权公告日 2023.03.10
(21)申请号 202223001980.6
(22)申请日 2022.11.10
(73)专利权人 湖南三安半导体有
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