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一种含有α-Al2O3涂层的炭/炭-碳化硅复合材料坩埚.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114455963 A (43)申请公布日 2022.05.10 (21)申请号 202111658795.1 C30B 15/10 (2006.01)

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