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一种含有氧化铝涂层的高密度C/C-SiC复合材料坩埚.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114455969 A (43)申请公布日 2022.05.10 (21)申请号 202111653464.9 C30B 15/10 (2006.01)

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