一种含有α-Al2O3涂层的C/SiC复合材料坩埚.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114455965 A
(43)申请公布日 2022.05.10
(21)申请号 202111658891.6 C04B 41/87 (2006.01)
(22)申请日 20
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