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原位合成法制备4H碳化硅电子材料的工艺.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112960673 A (43)申请公布日 2021.06.15 (21)申请号 202110296851.5 (22)申请日 2021.03.19 (71)申请人河南醒狮供应链管理有限公司

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